Metode pembuatan perangkat MEMS

bidang teknis

1. Pengungkapan ini berhubungan dengan perangkat mems dengan distribusi tegangan yang ditingkatkan.

Teknik latar belakang:

2. Seperti diketahui, perangkat elektronik mems ("Micro Electro Mechanical Systems"), seperti aktuator dan/atau sensor, biasanya dibentuk pada substrat yang menampung rongga dan mencakup struktur bergerak yang digantung dari rongga di atas dan dibatasi oleh elastis elemen ke area tetap. Substrat, struktur yang dapat dipindahkan, dan elemen elastis mungkin merupakan bagian integral, dan biasanya dibentuk dari bahan semikonduktor seperti silikon.

3. Perangkat elektronik ini juga mencakup: satu atau lebih struktur aktuasi dan/atau deteksi, yang digabungkan ke struktur yang dapat dipindahkan; dan sirkuit kontrol listrik, terintegrasi dalam substrat yang sama atau dibentuk dalam substrat yang berbeda dan Kopling ke struktur aktuasi dan/atau deteksi dapat memberikan sinyal penggerak listrik ke struktur aktuasi dan/atau menerima sinyal deteksi listrik dari struktur deteksi.

4. Secara rinci, struktur penggerak dapat menyebabkan perpindahan, misalnya rotasi, dari struktur bergerak bila dikendalikan oleh sinyal penggerak listrik yang sesuai. Demikian pula, struktur deteksi dikonfigurasi untuk menghasilkan sinyal listrik yang sesuai yang merupakan fungsi dari kondisi operasi struktur bergerak, dan misalnya, fungsi rentang rotasi struktur bergerak.

5. Sirkuit kontrol listrik dan struktur aktuasi dan/atau pendeteksian biasanya dihubungkan secara elektrik satu sama lain melalui jalur konduktif, misalnya dibentuk dari tumpukan lapisan konduktif.

6. Rel konduktif umumnya memanjang di atas area tetap, elemen elastis, dan terkadang sebagian di atas struktur bergerak.

7. Dalam penggunaan, perpindahan dari struktur yang dapat bergerak mengakibatkan deformasi, misalnya puntiran, dari elemen-elemen elastis yang membatasi struktur yang dapat digerakkan pada area tetap.

Hubungi kami:

Email: zhang@pride-cnc.com

Telp: plus 86-755-23699351

Massa: ditambah 8618666663894