Pelat panas mikro MEMS berdasarkan film dielektrik komposit lateral dan metode pembuatannya serta elemen realisasi teknis

Elemen implementasi teknis:

4. Mengingat masalah teknis di atas, penemuan ini menyediakan pelat panas mikro mems berdasarkan film dielektrik komposit melintang dan metode pembuatannya.

5. Tujuan dari penemuan ini adalah untuk menyediakan pelat panas mikro tipe datar dengan kehilangan konduksi panas lateral yang rendah, efisiensi konsumsi daya yang tinggi dari pelat panas mikro dan deformasi mekanis yang rendah yang disebabkan oleh tegangan termal, yang memenuhi persyaratan seperti sebagai konsumsi daya rendah, deformasi rendah, stabilitas tinggi dan persyaratan keandalan.

6. skema teknis bahwa penemuan ini memecahkan masalah teknis yang disebutkan di atas adalah sebagai berikut:

7. Pelat panas mikro mems berdasarkan film dielektrik komposit melintang, pelat panas mikro terdiri dari lapisan dielektrik komposit, substrat berbasis silikon, lapisan pendukung isolasi, elektroda pemanas, elektroda sinyal dan bantalan, dan area etsa belakang;

8. Substrat berbasis silikon adalah dasar untuk pembuatan pelat panas mikro;

9. Lapisan pendukung isolasi terletak di atas substrat berbasis silikon, digunakan untuk insulasi, mengurangi kehilangan panas, dan memberikan dukungan untuk area pemanasan elektroda dan area pengukuran sinyal;

10. Elektroda pemanas diatur di atas lapisan pendukung isolasi, dan elektroda pemanas menghasilkan area pemanas untuk menyediakan suhu kerja yang diperlukan untuk pelat panas mikro;

Hubungi kami:

Email: zhang@pride-cnc.com

Telp: plus 86-755-23699351

Massa: ditambah 8618666663894